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    槽式RCA清洗设备

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    槽式RCA清洗设备

      技术特点  Features  

    · 产能：400片/批，9600片/小时（210硅片）,480片/批，12000片/小时（182硅片）。

    · 支持多种添加剂技术。

    · 支持最薄120μm硅片。

    · 洁净区域干燥，自洁净系统。

    · 快速换液，在线换液。

    · 支持MES、RFID及选配在线称重功能。