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    管式低压淀积炉

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    管式低压淀积炉

      技术特点  Features  

    · 低压与热壁工艺特性，成膜均匀性、致密性好。

    · LPCVD工艺特性，基片密排对成膜速率影响小，单管装片量大。

    · 更多温区设置，可靠保证片间均匀性。

    · 独立调节分段进气，弥补气流耗尽效应。